可靠地对晶圆测试环境进行静电消除。通过在工件附近安装反馈传感器，可以实时监视目标区域的静电消除环境🗹。

可以高速进行大范围静电消除。由于会🅺记录将撕膜产生的静电降到目标值以下的静电消除结果，所以𒁏万一需要时可以追溯静电消除的过程。

可以在放电前对剥离裸片时产生的静电高速🅘地进行静电消除。此外，还可以削减传统机型* 必不可🌊少的维护工时。

超高的离子平衡±1 V，可以在各种IC 上放心使用。此外，还可以🎃确认之前的静电消除环境，万一需要时还可以确认影响时间段。

通过无风型、节能型静电消除器，有望在尽可能削减工厂空气消耗量的同时，取得优越的静电消除效果。

空气吹淋室的异物带入风险极高，在其中安装静电消除器，可以提升除尘效果。