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测量表面粗糙度的仪器

测量表面粗糙度的仪器

市面上有售各种原理的测量仪器,可用作测量、分析表面粗糙度和形状的评估仪器。

以下将介绍作为接触式测量仪器ও代表的表面粗糙度测量计和原子力显微镜(AFM),作为非接触式测量仪器代表的白光干涉🍸仪和激光显微系统的原理和特点。

方式 接触式 非接触式
测量仪器 接触式粗糙度测量计 原子力显微镜(AFM) 白光干涉仪 激光
显微系统
测量分辨率 1nm < 0.01nm < 0.1nm 0.1nm
高度测量范围 至1mm < 10μm < 数mm < 7mm
测量范围 数mm 1 至200μm 40μm至15mm 15μm至2.7mm
角度特性 ×
数据分辨率 与VGA相当 与VGA相当 与SXGA相当
确定测量位置 选项 内置光学CCD 内置光学CCD
对样本的不良影响 接触 接触 非接触 非接触



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