测量表面粗糙度的仪器
市面上有售各种原理的测量仪器，可用作测量、分析表面粗糙度和形状的评估仪器。
以下将介绍作为接触式测量仪器ও代表的表面粗糙度测量计和原子力显微镜（AFM），作为非接触式测量仪器代表的白光干涉🍸仪和激光显微系统的原理和特点。
| 方式 | 接触式 | 非接触式 | ||
|---|---|---|---|---|
| 测量仪器 | 接触式粗糙度测量计 | 原子力显微镜（AFM） | 白光干涉仪 | 激光 显微系统 |
| 测量分辨率 | 1nm | < 0.01nm | < 0.1nm | 0.1nm |
| 高度测量范围 | 至1mm | < 10μm | < 数mm | < 7mm |
| 测量范围 | 数mm | 1 至200μm | 40μm至15mm | 15μm至2.7mm |
| 角度特性 | – | × | △ | ○ |
| 数据分辨率 | – | 与VGA相当 | 与VGA相当 | 与SXGA相当 |
| 确定测量位置 | – | 选项 | 内置光学CCD | 内置光学CCD |
| 对样本的不良影响 | 接触 | 接触 | 非接触 | 非接触 |
