形状测量激光显微系统
VK-X 系列
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形状测量激光显微镜 VK-X100K
规格
型号 | VK-X100K | |||
类型 | 控制器 | |||
物镜放大倍率 | 15" 显示器的放大倍率 100 倍 | ― | ||
15" 显示器的放大倍率 200 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 400 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 1000 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 2000 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 3000 倍 | ||||
观察/测量范围 | 水平 (H)﹕ μm | 15" 显示器的放大倍率 100 倍 | ||
15" 显示器的放大倍率 200 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 400 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 1000 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 2000 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 3000 倍 | ||||
垂直 (V)﹕ μm | 15" 显示器的放大倍率 100 倍 | |||
15" 显示器的放大倍率 200 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 400 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 1000 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 2000 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 3000 倍 | ||||
操作距离 mm | 15" 显示器的放大倍率 100 倍 | |||
15" 显示器的放大倍率 200 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 400 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 1000 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 2000 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 3000 倍 | ||||
数值孔径 (N.A.) | 15" 显示器的放大倍率 100 倍 | |||
15" 显示器的放大倍率 200 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 400 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 1000 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 2000 倍 | ||||
15" 显示器的放大倍率 3000 倍 | ||||
光学变焦 | 1 至 8 倍 | |||
综合倍率 | 100 至 8000 倍 | |||
观察/测量光学系统 | 针孔共聚焦光学系统 | |||
高度测量 | 测量范围 | 7 mm | ||
显示分辨率 | 0.005 µm | |||
重复精度σ | 0.02 µm*1 | |||
宽度测量 | 显示分辨率 | 0.01 µm | ||
重复精度3σ | 0.05 µm*2 | |||
帧存储 | 像素数 | 2048 x 1536, 1024 x 768, 1024 x 64 | ||
对于单色图像 | 16 位 | |||
对于彩色图像 | 每个 RGB 8 位 | |||
对于高度测量 | 21 位 | |||
帧频率 | 面扫描 | 4 至 120 Hz | ||
线扫描 | 7900 Hz | |||
自动功能 | AAG (自动增益)、自动对焦、自动设置上下限, 双扫描的亮度设置 | |||
测量用激光光源 | 波长 | 红色半导体激光, 658 nm | ||
最大输出 | 0.95 mW | |||
激光产品 | II 类激光产品 (IEC60825-1,FDA (CDRH) Part1040.10 *3) | |||
光接收元件 | PMT (光电倍增管) | |||
用于光学观察的光源 | 灯泡 | 100 W 卤素灯 | ||
用于光学观察的 | 拍摄元件 | 1/3 英寸彩色 CCD 图像传感器 | ||
拍摄分辨率 | 超高精细 (3072 x 2304) | |||
自动调整 | 增益、快门速度 | |||
数据处理模块 | KEYENCE 指定专用个人电脑， (操作系统﹕ Windows 7 Professional Edition) *4 | |||
额定 | 电源电压 | 100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz | ||
功率消耗 | 最大 450 VA | |||
重量 | 约 11 kg | |||
*1 使用 50 倍镜头测量 2 µm 的标准高度差时。 | ||||
