分光干涉位移型多层膜厚测量仪

SI-T 系列

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产品规格 分光干涉位移型多层膜厚测量仪 SI-T 系列

控制器

型号

SI-T1000V

SI-TA100

图像

类型

主控制器 一体型

扩展控制器*4

独立型

SI-T1000/SI-TD500

SI-TA100

可连接的光谱单元数

2 台

1 台

显示

最小显示单位

0.001 µm

显示范围

±999.999 μm到 ±9999.99 mm(可选 7 种设定)

显示频率

10 次/ 秒

端子台

激光远程联锁输入

无电压输入*1

*1

计时 1 输入

无电压输入2*1

复位 1 输入

无电压输入*1

自动归零 1 输入

激光控制输入

模拟输出电压

±10V ×2 输出, 输出阻抗100Ω*1

±10V ×1 输出, 输出阻抗100Ω*1

模拟电流输出

4 到20mA ×2 输出, 最大负载阻抗 350Ω*1

4 到20mA ×1 输出 , 最大负载阻抗 350Ω*1

报警输出

NPN 开集极输出(N.C.)*1

*1

一般比较器输出

NPN 开集极输出*1

扩展连接器

计时输入

无电压输入2*1

复位输入

无电压输入*1

自动调零输入

程序切换输入

无电压输入 ×3 输入*1

报警输出

NPN 开集极输出(N.C.)*1

判定、二进位输出

二进制输出

测量数据输出(21bit) , 可选OUT
NPN 开路集电极输出*1

选通脉冲输出

NPN 开集极输出*1

二进制选择器输出

二进制选择输入

无电压输入*1

RS-232C 接口

测量数据输出和控制输入/ 输出
( 波特率最高可选择 115200 bps)

USB 接口

兼容USB2.0 HI-SPEED( 兼容USB1.1 Full-SPEED)

Ethernet 接口

100Base–TX/10Base–T

主要功能

测量面设定/ 测量面间计算功能、层数校验功能、光量累计功能、偏转自动补偿功能、12OUT 同时测量功能、计算功能、平均功能、滤波功能、校正功能、测量功能、测量值警报设定功能、容差设定功能、自动♉调零功能、数据存储功能、光线监控功能、8🧸 程序存储器功能、遮罩功能、设定支持软件连接功能等

额定

电源电压

24VDC±10% 脉动10%(P–P)以下

随主控制器提供

消耗电流

连接1 个传感头时 0.6A 以下
连接6 个传感头时 1.5A 以下

环境抗耐性

环境温度

0 到+50°C*2

0 到+50°C*5

相对湿度

35 到85%RH 无冷凝

抗震性

10 到55Hz,XYZ 方向上0.5 mm 双倍振幅,各2 小时*3

重量

约600g

约300g

*1 NPN 开路集电极输出额定输出:最大 50mA(最大 40V),残余电压最大 0.5V
无电压额定输入:启动电压 最大 1V,关闭电流最大 0.6mA
本机的各输入/输出电路,部分是内部共用电路。请注意,内部公共端子之间不会因连接线/外部设备间的电位差而产生电位差。
*2 当连接 2 台或更多扩展控制器时,环境温度为 0 到 40°C。
*3 当连接 2 台或更多扩展控制器时,抗震性为“10 到 55Hz ,XYZ方向上 0.3 mm 双倍振幅,各2小时”。
*4 最多可在主控制器上连接 4 个扩展控制器。
*5 当连接 2 台或更多扩展控制器时,环境温度为 0 到 40°C。

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传感头

型号

SI-T10*1

SI-T80

图像

类型

多层位移测量型 传感头

长距离厚度测量型 传感头

分光单元

SI-T10U

SI-T80U

测量范围 (折射率n=1)

0.01 到1.0 mm

参考距离

9 mm*2

80 mm*2

测量用光源

红外SLD , 输出1 mW , 1 类激光产品(IEC60825-1)

光束直径

ø30 µm*3

φ25 μm*3

线性度

±0.3 µm*4

±0.3 µm*7

分辨率

0.01 µm (0.25 µm)*5*6

0.01 µm*6

采样周期

1 ms

LED显示

目标靠近测量中心:绿光。目标在测量范围内:橙光。目标在测量范围外:橙光闪烁。

环境抗耐性

外壳防护级

IP64

环境光照

白炽灯、荧光灯:10000 lux 以下

环境温度

0 到+40°C

0 到+50°C

相对湿度

35 到85%RH(无冷凝)

抗震性

10 到55Hz,XYZ 方向上1.5 mm
双倍振幅,各2 小时

材料

SUS304

重量

约 70g (含连接线)

*1 传感头和分光单元已经配套调整完毕。无兼容性。
*2 表示与传感头正面的距离。会出现最大 ±0.2 mm 的个别差异。
*3 表示测量范围内的最小光束直径。
*4 当测量对象是玻璃板表面并将平均测量次数设定为 64 次时获得的值
*5 不使用峰值间计算时为 0.25 μm。
*6 当测量对象是位于测量中心厚度为 t=0.1 mm 的玻璃,并将平均测量次数设定为 4096 次时获得的值
*7 当测量对象是 2 块玻璃板的间隙厚度,并将平均测量次数设定为 64 次时获得的值

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专用 PC 软件

型号

SI-H1T*1

图像

类型

PC软件

支持 OS

Windows 11 Pro /Windows 10*2/Windows 7( SP1 以后)*3/Windows Vista( SP2 以后)*4/Windows XP( SP3 以后)*5

CPU

Pentium Ⅲ 1GHz 以上(建议使用1.7GHz 以上)

存储器容量

256MB 以上(建议使用1GB 以上)

硬盘可用空间

1GB 以上

显示器

1024x768 像素、24bit 真彩色以上

PC接口

配置有以下任意一种接口:
USB :Revision2.0 高速(USB1.1 兼容时全速)*6
LAN :100BASE-TX、10BASE-T*7
RS-232C(串口)

*1 用户使用的OS应在建议运行环境以上版本的环境中使用。
*2 支持 Home、Pro、Enterprise 的各 Edition。
*3 支持 Home Premium、Professional、Ultimate 的各 Edition。
*4 支持 Ultimate、Business、Home Premium、Home Basic 的各 Edition。
*5 支持 Professional Edition 及 Home Edition。
*6 经由 USB 集线器的连接,不属于保修对象。
*7 与 LAN 之间的连接及经由路由器的连接,不属于保修对象。

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