分光干涉式晶片厚度计

SI-F80R 系列

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传感器头增设单元 出口管制不受控制品 SI-FA103

SI-FA103 - 传感器头增设单元 出口管制不受控制品

*请注意,图片中的配件可能不包括在产品中。

技术规格(PDF)

手册

CAD 数据

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软件

  • CE 标志概述

规格

型号

SI-FA103

类型

扩展控制器*1

独立型

SI-FA103

可连接的光谱单元数

1

显示

最小显示单位

显示范围

显示周期

端子台

激光远程联锁输入

*2

定时 1 输入

复位 1 输入

自动调零1 输入

激光控制输入

模拟电压输出

±10 V x 1 输入,输出阻抗: 100 Ω*2

模拟电流输出

4 至 20 mA x 1 输出,最大负载阻抗: 350 Ω*2

警报输出

*2

通用比较器输出

扩展接口

定时输入

复位输入

自动调零输入

程序切换输入

警报输出

比较器/ 二进制 输出

二进制输出

选通脉冲输出

二进制选择输出

二进制选择输入

RS-232C 接口

USB 接口

Ethernet 接口

主要功能

12 个 OUT 同时测量
计算、平均、滤波器、换算测量、测量值警报、容差设定、自动调零,数据存储, 光线监控器𒀰、8 程序存储器、干涉计模式、遮罩、设定支持软件连接等。

额定

电源电压

随主控制器提供

消耗电流

环境抗耐性

环境温度

0 至 +50 °C*3

相对湿度

35 至 85 % RH (无凝结)

抗震性

10 至 55 Hz、双振幅 0.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 个小时

重量

约 300 g

*1 最多可在主控制器上连接 4 个扩展控制器。
*2 • NPN 开极集极额定输出:最大 50 mA(最大 40 V),残余电压:最大 0.5 V。
• 无电压额定输入:启动电压:最大 1 V,关闭电流:最大 0.6 mA。
• SI 系列的部分输入/输出电路是内部共用电路。请注意,内部公共端之间不会因连接线/外部设备之间的电位差而产生电位差。
要了解详细信息,请参见“接线注意事项”。
*3 当连接两个或更多扩展控制器时,环境温度为 0 至 +40 °C。

技术规格(PDF) 其他型号