实现了比以往 * 小 1/50 的超小型尺寸

• 1
  传统的 激光位移计 *
• 2
  ø8 小型传感器探头

* 传统机种以及以往型号代指本公司 LK 系列产品

新方案 采用支持 4 个方向的直角式单元，更省空间［CL-V020/V050］

探头体型小巧，却拥有同级超大的测量量程 *1

*1 作为白光共焦型激光位移计。

支持超高真空 *

CL-V020/V050 可在真空装置内使用，所以传感器探头内不使用有机粘合剂。
SUS304 的传感器﷽探头内ꦑ部仅有镜头，尽可能减少渗气的产生。此外，还支持低湿度、低露点的干式无尘室。

* 作为白光共焦型激光位移计。

耐 200°C 高温

CL-V020/V050 采用自主研发的特殊结构，即使在 200°C 的高温 下光学系统也不会变化，所以性能不会降低。可以直接在装有传 感器探头的状态下进行ཧ烘烤。

优秀的防尘、防水性能 IP67*

采用高防水性能，即使在加工现场等易产生飞沫的场所，也能放心使用。

*CL-V020/V050、CL-S015/CL-PT010 除外。