200 mm × 200 mm 座标台 搭载可变照明及光照探针单元 IM-8020

IM-8020 - 200 mm × 200 mm 座标台 搭载可变照明及光照探针单元

*请注意,图片中的配件可能不包括在产品中。

技术规格(PDF)

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

型号

IM-8020

类型

测量头

拍摄元件

1 型 2000 万像素 黑白 CMOS

显示器

12.1 型 LCD 显示器(WXGA :1280 × 800)

受光镜头

双远心镜头

图像测量

视野

广视野测量模式

200 mm × 200 mm(4 角 R50)

高精度测量模式

125 mm × 125 mm

最小显示单位

0.1 µm

重复精度

广视野测量模式

座标台未移动

±1 µm

座标台移动

±2 µm

高精度测量模式

座标台未移动

±0.5 µm

座标台移动

±1.5 µm

测量精度 ±2σ

广视野测量模式

无连接

±3.9 µm *1

有连接

±(7 + 0.02 L)µm *2

高精度测量模式

无连接

±2 µm *3

有连接

±(4 + 0.02 L)µm *4

外径测量

测量精度

广视野测量模式

±(2.8 + 0.02 D)µm *5

高精度测量模式

±(1.4 + 0.04 D)µm *6

动态光探头测量

可测量范围(XY)

90 mm × 90 mm

最大测量深度

30 mm

动态光探头直径

ø3 mm

测量力

0.015 N

重复精度

±2 µm *7

测量精度

±(8 + 0.02 L)µm *8

外部遥控输入

无源触点输入(有接点 / 无接点)

外部输出

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos 输出
额定负载 24 VDC 0.5 A
ON 电阻 50 mΩ 以下

接口

LAN

RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB 3.1

4 组(背面 :4 组)

USB 2.0 系列 A

4 组(正面 :2 组、背面 :2 组)

显示器输出

DVI-D

存储

硬盘驱动器

500 GB

照明系统

透过

远心透过照明

落射

4 分割多角度照明(电动)、环状(指向性)照明(电动)

XY 座标台

移动范围

100 mm × 100 mm(电动)

承受负重

5 kg

Z 座标台

移动范围

75 mm(电动)

电源

电源电压

100 至 240 VAC ±10% 50/60 Hz

消耗功率

430 VA 以下

环境抗耐性

环境温度

+10 至 35℃

相对湿度

20 至 80%RH(无凝结)

过电压类别

污染等级

2

重量

约 30 kg

*1 在 ø80 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23 ±1°C 时
*2 在 180 mm × 180 mm(4 角 R40)范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23 ±1°C、座标台载重 2 kg 以下时。L 为座标台移动量(mm)
*3 在 ø20 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23 ±1°C 时
*4 在 120 mm × 120 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23 ±1°C、座标台载重 2 kg 以下时。L 为座标台移动量(mm)
*5 在 L118 mm × ø60 mm 范围内。于调焦点位置,将目标物配置于镜头视野中央,使目标物的轴方向朝向镜头视野水平方向时。使用环境温度 +23 ±1°C、D 为 Y 方向距离(mm)
*6 在 L106 mm × ø20 mm 范围内。于调焦点位置,将目标物配置于镜头视野中央,使目标物的轴方向朝向镜头视野水平方向时。使用环境温度 +23 ±1°C、D 为 Y 方向距离(mm)
*7 检测方法为标准时。采用适用于较深位置的检测方法时为 ±3 µm
*8 采用标准检测方法、使用环境温度 +23 ±1°C、座标台载重 2 kg 以下时。采💎用适用于较深位置的检测方法时为 ±(10 + 0.02 L)µm。L 为测量长度(mm)

技术规格(PDF) 其他型号