200 mm × 200 mm 座标台搭载可变照明及光照探针单元 IM-8020

IM-8020 - 200 mm × 200 mm 座标台搭载可变照明及光照探针单元

*请注意，图片中的配件可能不包括在产品中。

规格

型号				IM-8020
类型				测量头
拍摄元件				1 型　2000 万像素　黑白 CMOS
显示器				12.1 型　LCD 显示器（WXGA ：1280 × 800）
受光镜头				双远心镜头
图像测量	视野	广视野测量模式		200 mm × 200 mm（4 角 R50）
		高精度测量模式		125 mm × 125 mm
	最小显示单位			0.1 µm
	重复精度	广视野测量模式	座标台未移动	±1 µm
			座标台移动	±2 µm
		高精度测量模式	座标台未移动	±0.5 µm
			座标台移动	±1.5 µm
	测量精度 ±2σ	广视野测量模式	无连接	±3.9 µm ^*1
			有连接	±（7 + 0.02 L）µm ^*2
		高精度测量模式	无连接	±2 µm ^*3
			有连接	±（4 + 0.02 L）µm ^*4
	外径测量	测量精度	广视野测量模式	±（2.8 + 0.02 D）µm ^*5
			高精度测量模式	±（1.4 + 0.04 D）µm ^*6
动态光探头测量	可测量范围（XY）			90 mm × 90 mm
	最大测量深度			30 mm
	动态光探头直径			ø3 mm
	测量力			0.015 N
	重复精度			±2 µm ^*7
	测量精度			±（8 + 0.02 L）µm ^*8
外部遥控输入				无源触点输入（有接点 / 无接点）
外部输出	OK/NG/FAIL/MEAS.			PhotoMos 输出额定负载　24 VDC 0.5 A ON 电阻　50 mΩ 以下
接口	LAN			RJ-45（10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T）
	USB 3.1			4 组（背面：4 组）
	USB 2.0 系列 A			4 组（正面：2 组、背面：2 组）
	显示器输出			DVI-D
存储	硬盘驱动器			500 GB
照明系统	透过			远心透过照明
	落射			4 分割多角度照明（电动）、环状（指向性）照明（电动）
XY 座标台	移动范围			100 mm × 100 mm（电动）
	承受负重			5 kg
Z 座标台	移动范围			75 mm（电动）
电源	电源电压			100 至 240 VAC ±10％　50/60 Hz
	消耗功率			430 VA 以下
环境抗耐性	环境温度			+10 至 35℃
	相对湿度			20 至 80%RH（无凝结）
	过电压类别			Ⅱ
	污染等级			2
重量				约 30 kg
^1 在 ø80 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23 ±1°C 时 ^2 在 180 mm × 180 mm（4 角 R40）范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23 ±1°C、座标台载重 2 kg 以下时。L 为座标台移动量（mm） ^3 在 ø20 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23 ±1°C 时 ^4 在 120 mm × 120 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23 ±1°C、座标台载重 2 kg 以下时。L 为座标台移动量（mm） ^5 在 L118 mm × ø60 mm 范围内。于调焦点位置，将目标物配置于镜头视野中央，使目标物的轴方向朝向镜头视野水平方向时。使用环境温度 +23 ±1°C、D 为 Y 方向距离（mm） ^6 在 L106 mm × ø20 mm 范围内。于调焦点位置，将目标物配置于镜头视野中央，使目标物的轴方向朝向镜头视野水平方向时。使用环境温度 +23 ±1°C、D 为 Y 方向距离（mm） ^7 检测方法为标准时。采用适用于较深位置的检测方法时为 ±3 µm ^8 采用标准检测方法、使用环境温度 +23 ±1°C、座标台载重 2 kg 以下时。采💎用适用于较深位置的检测方法时为 ±（10 + 0.02 L）µm。L 为测量长度（mm）

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200 mm × 200 mm 座标台 搭载可变照明及光照探针单元 IM-8020

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200 mm × 200 mm 座标台搭载可变照明及光照探针单元 IM-8020