型号

VL-530

类型

载物台

控制器

VL-500

测量头

VL-570

投光 光学系统

偏移投光型投影仪模块

受光 光学系统

低倍、高倍偏移双光学模块

照明系统

观察用光源

三色 LED(红色、绿色、蓝色)

测量用光源

蓝色 LED

重复精度(σ)

2 µm^*1

测量精度

±10 µm^*2

测量分辨率

标准测量(4M 模式)

400 万点

高精度测量(16M 模式)

—

测量范围

低倍

ø300×H200 mm

高倍

ø70×H50 mm

显示分辨率

0.1 µm^*3

图像拼接功能

自动旋转拼接测量

○

自动 XY 拼接测量

—

自动 XY 拼接 测量范围

低倍(2×2 合成)

低倍(3×1 合成)

高倍(2×2 合成)

高倍(3×1 合成)

载物台

载物台构成

电动θ 载物台构造

载物台旋转

360°(无限旋转)

载物台移动范围

—

倾斜构造

最大45°

承受负重

20 kg

控制用计算机

本公司指定专用 PC(OS 为 Windows^®10)^*4

电源

电源电压

100 至 240 VAC±10％　50/60 Hz

消耗功率

控制器/ 测量头: 200 VA、载物台: 200 VA

环境抗耐性

使用温度范围

+15 至 +30℃

使用湿度范围

20 至 80%RH，但无凝结

重量

控制器: 3.8 kg
载物台: 25.4 kg
遮光罩: 3.6 kg
测量头: 18.5 kg